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真空等离子清洗机的真空环境

作者:合丰嘉大发布日期:2022-04-15 17:51:52浏览人数:

等离子清洗机分为真空和非真空两种类型,非真空是大气压力,或常压等离子清洗机,非真空等离子清洗机,主要用于清如手机玻璃盖板或一些小规模清洁

为什么等离子清洗机需要真空环境进行处理?

等离子清洗机引入真空环境的原因有很多,但简单地说,主要有两个原因:引入真空室的气体在压力环境下不会电离,在充气电离产生等离子体之前必须达到真空环境。此外,真空环境允许我们控制真空室中的气体类型,控制真空室中气体类型对等离子处理过程的可重复性至关重要。

要进行等离子处理产品,我们首先生产等离子。首先,将单个气体或混合气体引入密封的低压真空等离子室。然后这些气体被两个电极板之间的射频产生(RF) 激活,这些气体中激活的离子加速并开始振动。这种振动需要清洁材料表面的污染物。

在处理过程中,等离子中激活的分子和原子会发出紫外线,产生等离子光。温度控制系统通常用于控制蚀刻速率。- 9d摄氏度温度之间的蚀刻速度是室温蚀刻速度的四倍。等离子蚀刻温度可控制在15摄氏度。我们所有的温度控制系统都已预编程并集成到等离子系统的软件中间。

不同的气体可以通过将不同的气体引入等离子室来改变处理过程。常用的等离子处理器体包括Q2,N2,Ar,H2 和CF4。世界各地的大多数实验室基本上使用这五种气体进行等离子处理。

等离子处理通常需要大约两到十分钟。等离子处理完成后,真空泵清除等离子室内的污染物,室内材料清洁消毒,可粘接或下一步。

等离子是气体分子在真空、放电等特殊场合形成的物质。等离子清洗/蚀刻形成等离子的装置是在密封容器中设置两个电极形成电磁场,用真空泵实现一定的真空度,然后气体越来越薄,分子间距和分子或离子的自由运行距离越来越长,受磁场的影响,碰撞形成等离子,同时发光。等离子在电磁场中的空间运行,轰击被处理物体的表面,从而达到表面处理、清洁和蚀刻的实际效果。

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