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真空等离子清洗机的构成及其工作原理

作者:合丰发布日期:2023-08-26浏览人数:746

真空等离子体清洗机由真空发生系统、电气控制系统、等离子体发生器、真空腔及相关机械组成。真空等离子体清洗机可根据客户要求定制。

真空等离子体清洗机利用两个电极形成电磁场,利用真空泵实现有效的真空度。随着气体越来越薄,分子之间的距离和分子或离子之间的自由运动距离越来越长。等离子体在电磁场中的空间运动,不断轰击被处理物体的表面,去除表面油污、表面氧化物、灰化表面有机化合物等化学物质,达到表面处理、清蚀刻的效果。

等离子喷枪

真空离子清洗机广泛应用于表面去污和等离子刻蚀(PTFE)以及聚四氟乙烯混合物的蚀刻、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等离子涂层聚合等工艺,广泛应用于汽车、电子、军用电子等领域PCB制造业等高精度领域。

真空等离子处理系统

真空等离子程大致如下:

1.首先将清洗过的工件送入真空机并固定,启动运行装置开始排气,使真空腔内的真空程度达到10Pa标准真空度左右。一般排气时间需要几分钟左右。

2.然后将等离子体清洗气体引入真空室,保持腔内压力稳定。氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体可分别用于不同的清洗材料。

3.在真空室的电极和接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿并通过光放电产生等离子体和等离子体,使真空腔内产生的等离子体覆盖处理过的工件并开始清洗。一般来说,清洗处理持续几十秒到几十分钟,这取决于不同的处理材料。

4.清洗后切断电源,通过真空泵排出气体和气化污垢。

真空等离子体清洗机具有数控技术自动化程度高、控制装置精度高、时间控制精度高、等离子体清洗正确、表面质量保证、真空环境清洗工作、环保安全,不污染环境,有效保证清洗表面不受二次污染。

合丰嘉大等离子处理机2.png

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