俗话说，磨刀不会误砍柴。使用好的工具通常可以事半功倍。当然，无论机器有多好，它都需要维护，所以让我们分享一些真空等离子体清洗机的维护：

维护真空等离子清洗机：

注：在清洗机开始维护或维护之前，应采取所有相关的安全措施，不限于这里提到的内容。

一、前提工作：

关闭设备电源开关，断开总电源保护器。

关闭所有气体。

准备所需的工具箱。

真空等离子处理系统

二、真空腔和真空发生系统的维护:

1.真空腔和电极板是处理工件的工作区域。使用一段时间后，腔内会残留一些污垢，附着在电极板和腔壁上。处理方法:连续使用一个月后，用无尘布(纸)用酒精清洗所有电极板和腔壁，保持腔体清洁。

2.观察窗是工作人员在工作时观察空腔内的放电情况，使用一段时间后会造成观察窗玻璃表面的微蚀，使其模糊。处理方法:用无尘布(纸)蘸酒精或丙酮清洗玻璃或直接更换真空玻璃。

3.真空泵中使用的油为防氧化专用油。及时更换有利于真空泵的正常运行，延长泵体的使用寿命。建议每三个月更换一次。应经常注意观察真空泵中的油量是否充足。如果油面表示油面低于使用下限（油面表旁有明确标志），应及时向正常油量注入新油。

等离子喷枪

三、更换真空泵油的具体步骤：

1.打开真空泵加油口注油塞(内六角扳手)；

2.打开放油阀上的放油塞(注意旋钮开关的方向)；

3.安全释放油，油面计内油面下降；

4.清洗泵内油后拧紧油塞 ；

5.从加油口注入新油，加入适量超过下限；

用六角扳手拧紧注油塞；

自动On-Line式AP等离子体处理系统

注意：

▲更换时请注入纯专用油。

▲将真空泵中使用的原油油。

▲换油时，工作人员应佩戴胶皮手套和口罩。

▲请妥善安全地处理废油。

真空泵排气口与油雾过滤器相连。油雾过滤器可去除真空泵排出的近90%的油雾，防止工作环境污染，起到消声作用。过滤后的油应从回油口排出，否则油会在滤芯和本体之间积聚，导致油雾。

建议每三个月更换一次滤芯。

2.如果没有排气，检查滤芯是否堵塞，必要时考虑更换滤芯。等离子发生器为高频设备，涉及频率漂移等问题。使用后应每2年调整一次。客户应确定联系制造商的时间，并返回工厂进行校正和调整。设备密封件应每18个月更换一次，然后每18个月更换一次，以确保真空密封件的可靠性。

等离子体处理系统

四、真空等离子体清洗机的具体维护事项：

1.定期检查真空泵油，每月定期检查真空泵油位和油纯度，观察油位窗口。当油位接近最低红线刻度时，将其添加到油红线上下之间；观察油的颜色。正常油干净透明。当油浑浊（油颜为灰褐色或油位窗模糊）且真空泵噪音异常时，应及时更换真空油。

2.清洁反应腔室

首先，用无水乙醇（通常称为酒精）的脱脂棉布擦拭真空腔（不要用乙醇擦拭反应腔观察玻璃）。其次，腔体导入气体（氩气 氧气或氮气 氧气)，用等离子体反应清除腔内残留物。处理时间约为10分钟，每月至少处理一次。

3、检查输气管道的完整性和真空密封性，定期检查真空系统的完整性，彻底清洁反应室后，避免腔内污染物泄漏。定期检查反应腔门的密封条是否松动。检查输气管道路线是否连接紧固，是否老化。

4.检查电源连接

电压是否与设备匹配(设备电压为220V（也有380V的））。

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